成果/Result
- 纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性被引量：1收藏
- 作者：袁泽明 张永强 姚宁 张兵临
- 机构：河南财经政法大学计算机与信息工程学院;郑州大学材料物理教育部重点实验室
- 来源：《人工晶体学报》 2012
- 关键词：纳米非晶碳 场致电子发射 FeCl3 微波等离子增强化学气相沉积
- 摘要：采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜。通过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构。并研究了薄膜材料的场发射特性。结果表明:薄膜的开启电场仅为0....
